9月18日消息,、、竞价涨停,、涨超10%,、、、。等涨超5%。
消息面上,工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中在电子专用装备目录下,集成电路生产装备包括氟化氩GKJ,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
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